平版印刷英语

在首次引入光刻模型三十年后，光学光刻模拟已经

从一个好奇心，到一个研发工具，最后到一个制造

工具。尽管已经发表了许多关于光刻模拟器及其

在先进的光刻技术开发中，很少公开模拟器是如何使用的

从一个好奇心到一个研发工具，最后到一个制造业。

使用工具工作。许多已经发表的新发展的光刻模拟器和他们的

在平版印刷的发展之前，已经出版了相对少量的关于如何使用模拟器的文章

很快将用于半导体制造流程。这篇综述文章将描述

当今制造业中最流行和最有用的光刻模拟器示例

环境。

不久，它被用于半导体制造过程中。这篇综述文章将描述

当今最流行和最有用的例子是用于制造业的光刻模拟器。

环境

关键词:光刻模拟，PROLITH，半导体制造

牛鼻子:平版印刷模拟，PROLITH，半导体制造

1.介绍

自从光刻建模首次引入半导体以来的30年中

工业，它已经从一个研究的好奇心变成一个不可缺少的工具为研究，发展和

制造业。有无数的例子表明建模对进化有着巨大的影响

1.

在光刻模型首次引入半导体的三十年后

工业，已经从一个研究的好奇心变成一个不可或缺的研究，发展和

制造业。模型如何对进化产生巨大影响的例子有很多。

平版印刷技术的发展，以及更多它微妙但不可否认地影响日常生活的方式

光刻专业人员的套路。光刻模拟有四个主要用途:作为研究

工具，进行用其他方法很难或不可能完成的实验，2)作为一种发展

工具，快速评估选项，优化流程，或通过减少

平版印刷技术及其更敏锐的方法，但不可否认，每天都在影响着人们。

平版印刷专业人员的日常工作。光刻模拟主要有四个用途:1)比如研究。

工具，它将很难或不可能以任何其他方式进行实验，2)如开发。

使用工具，快速评估选项，优化程序，或通过减少数量来节省时间和资金。

在fab中的实验，3)作为制造工具，用于解决工艺问题和确定

最佳工艺设置，以及4)作为学习工具，帮助提供对所有

光刻工艺的各个方面。光刻模拟的这四种应用并不明显

这些基本类别之间有很多重叠。

在优秀的实验中，3)作为制造工具，修复程序问题并作出决定。

最合适的编程，以及4)作为学习工具来帮助提供所有的基本理解。

平版印刷的方方面面。光刻模拟的这四个应用还不清楚。

这些基本类别之间有许多重叠之处。