mems是什么意思？

Mems(MicroelectromechanicalSystems，缩写为MEMS)，又称MEMS、微系统、微机械等。，指的是尺寸在几毫米甚至更小的高科技器件。微机电系统(MEMS)是一种独立的智能系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。它是微电子技术与机械工程相结合的工业技术，工作范围在微米级。比它更小，纳米范围内的类似技术称为纳米机电系统。

微电子机械系统(MEMS)是一种先进的制造技术平台。它是在半导体制造技术的基础上发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、刻蚀、薄膜等一系列现有技术和材料，所以就制造技术本身而言，MEMS中的基础制造技术是成熟的。而MEMS更注重超精密加工，涉及微电子、材料、机械、化学、力学等多个学科。它的学科也扩展到物理学的各个分支，如微观尺度上的力、电、光、磁、声和表面。