如何测量半导体材料的光致发光谱

其原理是利用X射线激发原子层中的电子逃逸，导致外层电子跃迁释放出特征X射线，这种特征X射线可以被接收器(EDX)探测到，形成能量色散的X射线谱。

其他的就不清楚了，X射线荧光仪都是用这个原理。

还有一种光谱叫电子发射光谱，通常是用SEM得到的。